دستگاه تصفیه/سیستم تصفیه/ژنراتور گاز با خلوص بسیار بالا
زمینههای کاربرد: نیمههادیهای الکترونیکی، مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ، مامز، سیلیکون تکبلوری، سیلیکون چندبلوری و اپیتاکسی سیلیکون، ال ای دی، TFT، نیترید گالیم، کاربید سیلیکون، تحقیق و توسعه علمی، تجزیه و تحلیل تجربی و غیره
دستگاه تصفیه/سیستم تصفیه/ژنراتور گاز با خلوص بسیار بالا
ویژگیها
● دو برج به طور متناوب جذب سطحی میکنند و عملیات پیوسته خودکار انجام میدهند. | ![]() |
پارامترهای جدول
| مدلهای سری | برای گاز | شاخص گاز خام | شاخص گاز محصول | |||||||||||
| ن2 | ح2 | این2 | با | او | این2 | ح2این | شرکت2 | شرکت | چ4 | ح2 | ن2 | دانهبندی | ||
| 9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | — | ≤۰.۱ppb | — | 0.003 مترمتر |
| 9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | — | 0.003 مترمتر |
| 9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | 0.003 مترمتر |
| — | ● | — | — | — | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | — | ≤۰.۱ppb | 0.003 مترمتر | ||
| 9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | 0.003 مترمتر |
| — | ● | — | — | — | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | ≤۰.۱ppb | — | ≤۰.۱ppb | 0.003 مترمتر | ||
| توجه: مشخصات جریان رایج:1-20000 نیوتن متر3/ساعت؛فشار معمول استفاده شده:1-20 مگاپاسکال | ||||||||||||||









