تصفیه‌کننده گاز برای حذف رطوبت و مورد استفاده در ساخت نیمه‌هادی‌ها
مناسب برای نیمه‌هادی‌های الکترونیکی، مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ، مامز، سیلیکون تک‌بلوری، سیلیکون چندبلوری و اپیتاکسی سیلیکون، ال ای دی، TFT، نیترید گالیم، کاربید سیلیکون، تحقیقات و توسعه علمی، تجزیه و تحلیل تجربی و غیره
ویژگی‌ها
● مناسب برای نیتروژن، هیدروژن، اکسیژن، آرگون، هلیوم و آمونیاک. گاز خام نباید کمتر از ۹۹.۹۹۹٪ باشد. ● حذف عمیق ناخالصی‌های O2، H2O، شرکت، دی اکسید کربن، H2، N2، CH2 و ان ام اچ سی تا 1ppB / 10ppB. ● بازسازی جذب متناوب دو برجی، کاتالیز تک برجی، جذب گیرنده ترمینالی، عملکرد پیوسته خودکار. ● اتصالات لوله فولادی ضد زنگ صیقلی کلاس ای‌پی 316L. ● با فیلتر 0.003 متر، میزان حذف می‌تواند به 99.999999% /99.99999% برسد. ● پی ال سی زیمنس قابلیت اتصال به سیستم دی سی اس را دارد. ● عملکرد دزدگیر امنیتی بی‌نقص است. ● سرویس ابری از راه دور در دسترس است. ● تولید و مونتاژ در محیطی فوق العاده تمیز. ● ظرفیت گاز ۱۰-۲۰۰۰۰ نانومتر مکعب در ساعت. |  |
